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今天為大家介紹一下影響分子篩吸附泵極限壓力的幾個(gè)因素。至于如何更有效改善，通過(guò)4個(gè)方面來(lái)為大家解讀細(xì)節(jié)，現(xiàn)在我們一起來(lái)具體了解下。
為進(jìn)一步降低泵的極限壓力，改善對(duì)惰性氣體的抽除能力，對(duì)分子篩吸附泵的應(yīng)用中可以采取以下幾個(gè)方面的措施：
1、黏滯流輸運(yùn)技術(shù)。這種方法也叫二級(jí)抽氣技術(shù)，但并不是兩個(gè)吸附泵的簡(jiǎn)單串聯(lián)，我們?cè)诮榻B影響因素的時(shí)候就提到了，簡(jiǎn)單串聯(lián)對(duì)泵的極限壓力改善并不大。簡(jiǎn)單原理就是當(dāng)泵1抽到1.3×102Pa左右時(shí)，系統(tǒng)內(nèi)處于黏滯流狀態(tài)，這時(shí)系統(tǒng)中的惰性氣體會(huì)隨著氣流進(jìn)入到泵1，此時(shí)在惰性氣體未返回被抽容器之前，關(guān)閉閥門(mén)1，同時(shí)啟動(dòng)泵2。這樣會(huì)損害泵1的極限壓力，但泵2可以減少惰性氣體的影響，一般極限壓力可以提高到10-2Pa，最高可以達(dá)到10-3Pa。而簡(jiǎn)單的串聯(lián)，在泵1達(dá)到平衡壓力后再啟動(dòng)泵2，極限壓力一般在10-1Pa左右。
2、氣體沖刷法。這個(gè)方法其實(shí)就是氮?dú)鉀_洗，利用純氮趕走空氣，使容器中的惰性氣體成分等減少，從而提高分子篩吸附泵的極限壓力。利用這種方式，分子篩吸附泵的極限壓力可以達(dá)到10-4～10-5Pa。
3、徹底的再生工藝。分子篩吸附泵在使用多次后會(huì)吸附一些不易脫附的氣體，因此需要通過(guò)加溫烘烤再生，一般像水汽會(huì)在250～350℃下保持?jǐn)?shù)小時(shí)。但對(duì)于氫氣含量較高的抽氣環(huán)境，高溫會(huì)惡化極限壓力，此時(shí)為降低氫氣的分壓，再生溫度應(yīng)在150℃左右?；蛘咴跈C(jī)械泵預(yù)抽到1.33×10-1Pa或更低的壓力下再加溫(200℃或300℃)烘烤數(shù)小時(shí).這樣可以得到10-5Pa左右的極限壓力。
4、改善吸附劑的吸附特性。不同的吸附劑對(duì)氣體的吸附特性不同，如活性炭在低溫下對(duì)H2、Ne、He的吸附量?jī)?yōu)于分子篩，13X的分子篩適合抽油蒸氣，而5A則擅長(zhǎng)水、二氧化碳的吸附等等，根據(jù)這些特點(diǎn)使用混合吸附劑來(lái)使泵實(shí)現(xiàn)更低的極限壓力。
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